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国家知识产权局信息数据显现,宁波平恒电子资料有限公司请求一项名为“一种用于晶圆外表氧化层的抛光液及其制备办法和使用”的专利,公开号CN121825419A,请求日期为2025年12月。
专利摘要显现,本发明触及研磨和抛光技术领域,特别是触及一种用于晶圆外表氧化层的抛光液及其制备办法和使用。所述抛光液包含如下质量分数的各组分:90wt%~99wt%的硅溶胶、0.01wt%~1wt%的外表活性剂、0.001wt%~1wt%的分散剂、0.011wt%~1.1wt%的添加剂,余量为pH调节剂;所述硅溶胶选自小粒径硅溶胶、大粒径硅溶胶和中粒径硅溶胶中的一种或多种,所述小粒径硅溶胶的粒径为55‑65nm,所述中粒径硅溶胶的粒径为75‑85nm,所述大粒径硅溶胶的粒径为86‑95nm。本发明的抛光液能有用提高不同颗粒描摹的硅溶胶混合的稳定性,对晶圆外表氧化层具有较高的去除率,并能改进因抛光液形成的颗粒剩余和划伤问题,因而具有宽广的使用远景。
天眼查资料显现,宁波平恒电子资料有限公司,成立于2021年,坐落宁波市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。经过天眼查大数据分析,宁波平恒电子资料有限公司产业线条,此外企业还具有行政许可1个。
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