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华体会官网手机版hth:平恒电子请求用于晶圆外表氧化层的抛光液专利改进因抛光液形成的颗粒剩余和划伤问题
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时间 : 2026-05-21 15:40:13 浏览量 : 81 次

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  国家知识产权局信息数据显现,宁波平恒电子资料有限公司请求一项名为“一种用于晶圆外表氧化层的抛光液及其制备办法和使用”的专利,公开号CN121825419A,请求日期为2025年12月。

  专利摘要显现,本发明触及研磨和抛光技术领域,特别是触及一种用于晶圆外表氧化层的抛光液及其制备办法和使用。所述抛光液包含如下质量分数的各组分:90wt%~99wt%的硅溶胶、0.01wt%~1wt%的外表活性剂、0.001wt%~1wt%的分散剂、0.011wt%~1.1wt%的添加剂,余量为pH调节剂;所述硅溶胶选自小粒径硅溶胶、大粒径硅溶胶和中粒径硅溶胶中的一种或多种,所述小粒径硅溶胶的粒径为55‑65nm,所述中粒径硅溶胶的粒径为75‑85nm,所述大粒径硅溶胶的粒径为86‑95nm。本发明的抛光液能有用提高不同颗粒描摹的硅溶胶混合的稳定性,对晶圆外表氧化层具有较高的去除率,并能改进因抛光液形成的颗粒剩余和划伤问题,因而具有宽广的使用远景。

  天眼查资料显现,宁波平恒电子资料有限公司,成立于2021年,坐落宁波市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。经过天眼查大数据分析,宁波平恒电子资料有限公司产业线条,此外企业还具有行政许可1个。

  声明:商场有危险,出资需谨慎。本文为AI根据第三方数据生成,仅供参考,不构成个人出资主张。

  特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包含在内)为自媒体渠道“网易号”用户上传并发布,本渠道仅供给信息存储服务。

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